В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Автор: Татаренко Н.И., Кравченко В.Ф.
Издательство: Физматлит
Год: 2006
Страниц: 192
Формат: djvu
ISBN: 5-9221-0695-3
Размер: 3.5 MB Скачать с DepositFiles.com
Зеркало на Rapidshare.com
Зеркало на UploadBox.com | 
